電子半導體行業(yè)超純水制取設備

電子半導體行業(yè)水質(zhì)標準：
     我公司電子級超純水設備出水水質(zhì)完全符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標準（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準）、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、日本集成電路水質(zhì)標準、國內外大規模集成電路水質(zhì)標準。

電子工業(yè)對水質(zhì)的要求：
     微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高，這也對超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。

應用場(chǎng)合：
     ☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
     ☆超純材料和超純化學(xué)試劑；
     ☆實(shí)驗室和中試車(chē)間；
     ☆汽車(chē)、家電表面拋光處理；
     ☆光電產(chǎn)品；
     ☆其他高科技精微產(chǎn)品；

典型電子級超純水制備工藝：   
     ☆預處理----反滲透----水箱----陽(yáng)床----陰床----混合床----純水箱----純水泵----紫外線(xiàn)殺菌器----精制混床----微孔膜過(guò)濾器----用水對象
     ☆預處理----一級反滲透----pH調節裝置----中間水箱----二級反滲透----純水箱----純水泵----紫外線(xiàn)殺菌器----微孔膜過(guò)濾器----用水對象
     ☆預處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線(xiàn)殺菌器----微孔膜過(guò)濾器----用水對象          新工藝
     ☆預處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線(xiàn)殺菌器----拋光混床----TOC分解器----微孔膜過(guò)濾器----用水對象

最新工藝流程：